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1. Identificação
Tipo de ReferênciaArtigo em Evento (Conference Proceedings)
Sitemtc-m21b.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Identificador8JMKD3MGP5W34M/3GTE43Q
Repositóriosid.inpe.br/mtc-m21b/2014/08.26.14.41.55
Última Atualização2020:07.06.21.03.28 (UTC) simone
Repositório de Metadadossid.inpe.br/mtc-m21b/2014/08.26.14.41.56
Última Atualização dos Metadados2022:09.14.20.07.34 (UTC) administrator
Chave SecundáriaINPE--PRE/
Chave de CitaçãoSilvaBald:2014:CaÓpMo
TítuloCaracterísticas ópticas e morfológicas do silício poroso produzido por processo de anodização em soluções HF-Acetonitrila e HF-Etanol
Ano2014
Data de Acesso02 maio 2024
Tipo SecundárioPRE CN
Número de Arquivos1
Tamanho196 KiB
2. Contextualização
Autor1 Silva, Belchior Elton Lima da
2 Baldan, Maurício Ribeiro
Identificador de Curriculo1
2 8JMKD3MGP5W/3C9JHTA
Grupo1
2 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR
Afiliação1 UNIFESP
2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
Endereço de e-Mail do Autor1 belchior.elton@unifesp.br
2 baldan@las.inpe.br
Endereço de e-Mailmarcelo.pazos@inpe.br
Nome do EventoSeminário de Iniciação Científica do INPE (SICINPE).
Localização do EventoSão José dos Campos
Data30-31 jul., 2014
Editora (Publisher)INPE
Cidade da EditoraSão José dos Campos
Título do LivroAnais
Histórico (UTC)2014-08-26 14:41:56 :: marcelo.pazos@sid.inpe.br -> administrator ::
2020-04-29 13:33:49 :: administrator -> simone :: 2014
2020-07-06 21:03:29 :: simone -> administrator :: 2014
2022-09-14 20:07:34 :: administrator -> simone :: 2014
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Palavras-Chavesilício poroso
anodização
ResumoEste trabalho tem como objetivo estudar o efeito de alguns parâmetros experimentais (Tempo de ataque, densidade de corrente e composição do eletrólito) nas características morfológicas do silício poroso. Amostras de silício poroso podem ser produzidas a partir de diversas técnicas, as amostras contidas nesse relatório foram obtidas a partir do processo de anodização eletroquímica do silício monocristalino, esse método possibilita a obtenção de poros com diferentes morfologias, diâmetros e profundidades. Na anodização eletroquímica o substrato de silício é o eletrodo de trabalho, que é polarizado anodicamente. Neste caso utilizou-se um contra eletrodo de Platina, pois essa é inerte ao HF. Esses eletrodos foram inseridos em uma cuba eletrolítica também inerte ao eletrólito. As amostras foram obtidas a partir de lâminas de silício tipo-n, com orientação cristalográfica <100> e resistividade 1-20 Ω.cm. Na primeira etapa do trabalho avaliou-se o efeito do tempo de ataque nas características do PS. Para isso, variou-se a duração do processo de anodização (5, 10, 15, 20 e 30 min.) mantendo-se os outros parâmetros constantes. Os resultados demonstraram que, em ataques a partir de 20 minutos, as camadas porosas apresentam maior homogeneidade. Na segunda etapa da pesquisa o parâmetro estudado foi a densidade de corrente utilizada durante a anodização. Para avaliar o efeito desse parâmetro nas características do PS, foram realizados ataques de 20 minutos, onde se variou a corrente aplicada nas amostras (5, 10, 15, 20, 25, 30, 35 mA), mantendo os outros parâmetros experimentais constantes. Os resultados obtidos indicam que a condição ótima foi atingida na amostra de 30 mA. Por fim, estudou-se o efeito da composição do eletrólito no poro. Nessa terceira etapa foram realizados ataques de 20 minutos, utilizando-se uma corrente elétrica igual a 30 mA. Variou-se a molaridade de HF na solução eletrolítica, mantendo os outros parâmetros experimentais constantes. As características das amostras foram analisadas a partir da Microscopia Eletrônica de Varredura (morfologia superficial, diâmetro e profundidade dos poros) e da perfilometria óptica (rugosidade superficial das amostras, profundidade dos poros e área superficial total).
ÁreaFISMAT
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4. Condições de acesso e uso
URL dos dadoshttp://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP5W34M/3GTE43Q
URL dos dados zipadoshttp://urlib.net/zip/8JMKD3MGP5W34M/3GTE43Q
Idiomapt
Arquivo AlvoSilva_caracteristicas.pdf
Grupo de Usuáriosmarcelo.pazos@inpe.br
Grupo de Leitoresadministrator
marcelo.pazos@inpe.br
simone
Visibilidadeshown
Permissão de Atualizaçãonão transferida
5. Fontes relacionadas
Repositório Espelhoiconet.com.br/banon/2006/11.26.21.31
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGPCW/3ESR3H2
8JMKD3MGPDW34P/478H8PH
Lista de Itens Citandosid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.56.32 3
sid.inpe.br/mtc-m16c/2022/07.08.19.46 1
sid.inpe.br/mtc-m18@80/2008/03.17.15.17.24 1
Acervo Hospedeirosid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.20
6. Notas
NotasBolsa PIBIC/INPE/CNPq
Campos Vaziosarchivingpolicy archivist callnumber contenttype copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel dissemination doi edition editor format isbn issn label lineage mark nextedition numberofvolumes orcid organization pages parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readpermission rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark serieseditor session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype type url versiontype volume
7. Controle da descrição
e-Mail (login)simone
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